最早的溫度測量計，在1592年由意大利物理學家伽利略發明。

　　1714年，德國的華倫海特制成了以水的冰點為32℃，沸點為212℃，中間分為180℃的水銀溫度計，即沿用至今的華氏溫度計。

　　1745年，瑞典的林乃將攝爾西烏斯1742年制作的水銀溫度計的冰點和沸點分別改為0℃，100℃，發明了至今沿用的攝氏溫度計。

　　到18世紀末，出現了雙金屬溫度計。

　　1802年，查理斯定律確立之后，氣體溫度計也隨之得到改進和發展，其精確度和測量范圍超過了水銀溫度計。

　　1821年，德國物理學家賽貝發現了熱電效應；同年，英國的戴維發現金屬電阻隨溫度變化的規律，以后就出現了真正能把溫度變成電信號的傳感器，也就是我們所使用的熱電偶傳感器。

　　1876年，德國人西門子制造出第一支鉑電阻溫度計。

　　到20世紀初，維斯定律和普朗克定律出現以后，輻射溫度計和光學高溫計才真正得到使用。

　　從60年代開始，由于紅外技術和電子技術的發展，出現了利用各種新型光敏或熱敏檢測元件的輻射溫度計，從而擴大了它的應用領域。

　　原始的攝氏溫標、華氏溫標、氣體溫度計溫標和鉑電阻溫標等不同的溫度計出現了各種溫標，因此在1967年底13次國際權度大會通過的1968年國際實用溫標。

　　隨著科技的不斷發展，溫度傳感器現在已發展琤帶有微處理機，具有信息采集、信息處理、數據傳輸等功能的智能化設備。與傳統的溫度計相比，智能化溫度傳感器的功能更多，監測精度更準，產品性能更穩定。